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（文/觀察者網(wǎng) 呂棟）在新三板摘牌1年半后，華卓精科開始沖刺科創(chuàng)板。

日前，這家被市場稱作“光刻機第一股”的廠商，正式向上交所提交招股書并獲受理。雖然不生產(chǎn)光刻機整機，但其實控人、清華大學教授朱煜透露，該公司生產(chǎn)的光刻機核心子系統(tǒng)——雙工件臺打破了ASML技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司。

不過，目前華卓精科的光刻機雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。同時，其晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產(chǎn)品還與上海微電子存在競爭。

2017年-2019年，華卓精科營收和凈利呈逐年增長態(tài)勢，但其同期收到的政府補助要遠大于其營收規(guī)模，其中2019年收到的政府補助是其當年凈利潤的16倍。除此之外，招股書中還透露，其融資渠道較為單一，難以滿足該公司快速擴張的需求。

上海微電子光刻機產(chǎn)品

核心產(chǎn)品僅一家客戶

雖然被譽為A股“光刻機第一股”，但華卓精科并不能直接生產(chǎn)光刻機整機，其主要產(chǎn)品為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備及關鍵零部件等，而工件臺、投影物鏡和光源是光刻機的三大核心子系統(tǒng)，其中工件臺成本占到整個光刻機成本的10%-20%。

觀察者網(wǎng)梳理公開資料發(fā)現(xiàn)，在2000年之前，光刻設備只有一個工件臺，晶圓片的對準與曝光流程都在上面完成。直到2001年，荷蘭ASML推出Twinscan雙工件臺系統(tǒng)，使光刻機能在一個工件臺進行曝光晶圓片，同時在另外一個工作臺進行預對準工作，生產(chǎn)效率和精度得到大幅提升。

值得注意的是，雖然雙工件臺系統(tǒng)僅是增加一個工件臺，但技術難度卻不容小覷，對工件臺轉(zhuǎn)移速度和精度有非常高的要求。此前該產(chǎn)品技術被ASML一家壟斷，直到2016年才被清華大學攻克。

當年4月28日，由清華大學機械工程系教授朱煜擔任負責人的研發(fā)團隊，歷經(jīng)5年時間研發(fā)的光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機，通過國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（下稱：02專項）實施管理辦公室的項目驗收。而朱煜本人正是華卓精科的實際控制人。

2018年5月，朱煜在接受華璋資本調(diào)研時表示，其生產(chǎn)的雙工件臺打破ASML在工件臺上的技術壟斷，是世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司，而且在全球能單獨供應工件臺的也只有華卓精科。

光刻機雙工件臺  圖片來源：清華大學機械工程系官網(wǎng)

在招股書中，華卓精科透露，作為國內(nèi)首家可自主研發(fā)并實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的光刻機雙工件臺供應商，其為上海微電子提供光刻機雙工件臺，并長期保持良好的合作關系，共同進行IC前道光刻機核心技術的研發(fā)和IC前道光刻機產(chǎn)品的生產(chǎn)，占據(jù)了中國商用光刻機雙工件臺的主要市場份額。

但是，上海微電子也是華卓精科光刻機雙工件臺產(chǎn)品的唯一客戶。

目前，世界上主要的光刻機生產(chǎn)商包括ASML、尼康、佳能等公司。

其中，尼康和佳能采用In House‖生產(chǎn)模式，即光刻機的主要子系統(tǒng)均由整機廠商研發(fā)和生產(chǎn)；ASML早期采用Out House‖生產(chǎn)模式，僅負責整機的設計和子系統(tǒng)的需求定義，各個子系統(tǒng)均由第三方廠商進行研發(fā)和生產(chǎn)。2010年后，隨著ASML逐步成為光刻機市場霸主，其開始自行設計工件臺。

并且，無論采取何種模式研發(fā)和生產(chǎn)工件臺，上述整機廠商使用的工件臺均不單獨對外銷售。因此，前述機構(gòu)在調(diào)研報告中也提到，華卓精科也是上海微電子唯一的光刻機工件臺供應商。

招股書截圖

華卓精科披露，目前其光刻機雙工件臺產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。

該公司針對國產(chǎn)高端IC前道光刻機的需求推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，前者主要適用于干式步進式掃描光刻機，可用于65nm及以上工藝節(jié)點，目前已向上海微電子完成交付；后者適用于浸沒式光刻機，可用45nm及以下工藝節(jié)點，目前仍處于研發(fā)階段。

談及光刻機工件臺的價格，朱煜曾透露，干式的雙工件臺約2000萬元，浸沒式的約6000萬元。

有業(yè)內(nèi)人士分析指出，華卓精科的雙工件臺技術雖然實現(xiàn)從0到1的突破，但是與國外還有一些差距，目前國際先進水平的雙工件臺技術已運用于7nm，甚至5nm光刻機的生產(chǎn)制造。

而華卓精科光刻機雙工件臺業(yè)務近年來波動也較大。2017-2019年，該產(chǎn)品營收分別為1521萬元、795萬元和0萬元，占主營業(yè)務收入比重分別為28.12%、9.28%和0%。

該公司坦言，若其研發(fā)的光刻機雙工件臺因技術或客戶需求等原因?qū)е庐a(chǎn)業(yè)化不及預期，則可能對其未來該產(chǎn)品銷售收入分別為經(jīng)營業(yè)績造成不利影響。

除此之外，華卓精科還需要面對另一個不確定因素：其產(chǎn)品和重要客戶存在一定競爭。

招股書披露，其以光刻機雙工件臺的超精密測控技術為基礎，開發(fā)了晶圓級鍵合設備、激光退火設備等整機產(chǎn)品。而其光刻機雙工件臺的唯一客戶上海微電子，也是后兩大產(chǎn)品的主要供應商。

招股書截圖