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華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機(jī):邁向14nm
關(guān)鍵字: 中國芯片中國科技驅(qū)動(dòng)之家5月21日消息,中芯國際花了1.2億美元從荷蘭ASML(阿斯麥)買來一臺(tái)EUV極紫外光刻機(jī),未來可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片,長江存儲(chǔ)也迎來了自己的第一臺(tái)光刻機(jī),同樣來自ASML,不過是193nm沉浸式,用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓,7200萬美元一臺(tái)。
本文圖片來自“驅(qū)動(dòng)之家”
據(jù)集微網(wǎng)報(bào)道, 5月21日上午,在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠”)實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備光刻機(jī)搬入。
這臺(tái)光刻機(jī)的型號是NXT 1980Di,依然是荷蘭ASML提供,后者官方顯示,這是一臺(tái)193nm雙級沉浸式光刻機(jī),用于10nm級(14~20nm)晶圓生產(chǎn),它也是大陸裝備的最先進(jìn)的沉浸式光刻設(shè)備。
華力微電子官網(wǎng)資料顯示,華虹六廠是該司的第二個(gè)12英寸晶圓生產(chǎn)線,設(shè)計(jì)月產(chǎn)能4萬片,工藝技術(shù)從28nm起步,最終將具備14nm三圍工藝的高性能芯片生產(chǎn)能力。
另外,根據(jù)賽迪顧問的統(tǒng)計(jì),按照銷售額,上海華虹位列2017年國內(nèi)十大集成電路制造企業(yè)第五位。
- 原標(biāo)題:華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機(jī):邁向14nm
- 責(zé)任編輯:呂棟
- 最后更新: 2018-05-21 18:48:55
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