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光刻機(jī)巨頭ASML稱中企可能侵權(quán),中企稱關(guān)鍵技術(shù)完全自研
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呂棟lvdong@guancha.cn
最后更新: 2022-02-11 19:04:51【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】
當(dāng)?shù)貢r(shí)間2月9日,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)在2021年財(cái)報(bào)中宣稱,中國(guó)企業(yè)東方晶源(Dong Fang JingYuan Electron,DFJY)正在中國(guó)積極銷售可能(could potentially)侵犯該公司知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。阿斯麥還稱,東方晶源與一家已經(jīng)破產(chǎn)的美國(guó)公司XTAL存在關(guān)聯(lián),2019年美國(guó)法院曾判定XTAL侵犯阿斯麥知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
觀察者網(wǎng)隨后聯(lián)系了東方晶源,對(duì)方工作人員稱暫時(shí)不方便回應(yīng)此事。而阿斯麥中國(guó)方面告訴觀察者網(wǎng),此事與XTAL之前的侵權(quán)案有關(guān),是年報(bào)中的正常披露。阿斯麥正在密切關(guān)注東方晶源的動(dòng)態(tài),目前尚未準(zhǔn)備采取法律措施,但如果有確鑿證據(jù)該公司將訴諸法律。
阿斯麥研發(fā)人員 圖源:阿斯麥
中企稱關(guān)鍵技術(shù)完全自研
據(jù)阿斯麥財(cái)報(bào)中披露的信息,該公司在2021年初獲悉,一家與XTAL公司有關(guān)的公司正在中國(guó)積極推銷可能侵犯阿斯麥知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品,2019年XTAL曾因在美國(guó)盜取阿斯麥的商業(yè)秘密被判定做出賠償。作為回應(yīng),阿斯麥已經(jīng)告知客戶不要協(xié)助這家名叫“東方晶源“的中國(guó)公司從事此類潛在的侵權(quán)行為。阿斯麥還透露,該公司已向中國(guó)監(jiān)管部門告知相關(guān)信息,正在密切監(jiān)測(cè)相關(guān)情況,并準(zhǔn)備在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)采取法律行動(dòng)。
阿斯麥2021年財(cái)報(bào)截圖
觀察者網(wǎng)查詢發(fā)現(xiàn),東方晶源全稱為東方晶源微電子科技(北京)有限公司,成立于2014年,總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),專注于集成電路良率管理。亦莊國(guó)投曾披露,東方晶源由中國(guó)500強(qiáng)企業(yè)東方集團(tuán)投資控股,而東方集團(tuán)是一家成立于1978年的大型投資控股型民營(yíng)企業(yè)。
從具體業(yè)務(wù)來看,東方晶源主要產(chǎn)品為納米級(jí)電子束缺陷檢測(cè)裝備(EBI)和關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備(CD-SEM)、計(jì)算光刻產(chǎn)品(OPC)以及微電子設(shè)計(jì)與制造智能良率優(yōu)化平臺(tái)(HPOTM)。該公司稱,其產(chǎn)品均為自主研發(fā)且處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平,可以有效解決國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)多個(gè)難點(diǎn)。
東方晶源官網(wǎng)截圖
而阿斯麥官網(wǎng)顯示,該公司產(chǎn)品除光刻機(jī)之外,也包括用于提高芯片良率和質(zhì)量的計(jì)算光刻,“如果沒有計(jì)算光刻,芯片制造商就不可能制造出最新的技術(shù)節(jié)點(diǎn)”。
有資深半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴觀察者網(wǎng),在光刻過程中,光的衍射以及感光層中的物理和化學(xué)效應(yīng)會(huì)使光刻機(jī)試圖刻出的圖像變形,因此需要計(jì)算光刻進(jìn)行校準(zhǔn)和優(yōu)化。簡(jiǎn)單來說,計(jì)算光刻類似EDA中的算法,是一種晶圓廠需要購買的服務(wù),如果曝光圖形跟實(shí)際掩膜(Mask)有差異,可以通過計(jì)算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形。一般來說,如果晶圓廠覺得阿斯麥的計(jì)算光刻不夠好,也可以選擇第三方提供的產(chǎn)品,二者由此便會(huì)形成競(jìng)爭(zhēng)。
阿斯麥官網(wǎng)截圖
荷蘭媒體無理攻擊中國(guó),遭阿斯麥反駁
本次阿斯麥除指控東方晶源可能侵權(quán)外,還特意提到東方晶源與XTAL存在關(guān)聯(lián),而阿斯麥與XTAL的知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛發(fā)生在數(shù)年之前,彼時(shí)還曾引發(fā)一些外媒對(duì)中國(guó)的無理攻擊。
事情要從2016年說起。當(dāng)年5月,阿斯麥向美國(guó)法院起訴美國(guó)公司XTAL,指控XTAL盜取阿斯麥美國(guó)子公司Brion的某些源代碼和知識(shí)產(chǎn)權(quán),并且稱XTAL誘導(dǎo)和教唆阿斯麥員工在離職前秘密為其工作。
根據(jù)官方介紹,Brion是計(jì)算光刻概念的提出者,該公司2007年被阿斯麥?zhǔn)召?。而XTAL于2014年由兩名曾在Brion工作過的員工創(chuàng)立,致力于提高半導(dǎo)體制造過程中的良率,業(yè)務(wù)也包括計(jì)算光刻。據(jù)當(dāng)時(shí)的外媒報(bào)道,XTAL在成立后發(fā)展迅猛,而阿斯麥在失去一個(gè)關(guān)鍵客戶的合同后開始對(duì)XTAL產(chǎn)生懷疑。
Brion相關(guān)介紹
阿斯麥向法院提出的指控稱,在XTAL成立1年后,兩名阿斯麥員工辭職加入該公司,這兩名員工將Brion的商業(yè)機(jī)密復(fù)制到存儲(chǔ)設(shè)備上帶走,用于促進(jìn)XTAL的業(yè)務(wù),并且他們隨后還與兩名仍在Brion工作的前同事一起竊取機(jī)密信息。
- 責(zé)任編輯: 呂棟 
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