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國(guó)內(nèi)光刻膠取得不少進(jìn)展

當(dāng)前，由于全球芯片短缺，臺(tái)積電、三星、英特爾紛紛開始增加產(chǎn)能，中國(guó)大陸晶圓廠也加入擴(kuò)產(chǎn)隊(duì)伍。未來幾年，隨著中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等本土晶圓廠進(jìn)入產(chǎn)能擴(kuò)張期，高端光刻膠的國(guó)內(nèi)供應(yīng)迎來重要窗口。國(guó)內(nèi)從事高端光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的公司主要有南大光電、上海新陽(yáng)、晶瑞股份、北京科華等。

5月11日，南大光電在業(yè)績(jī)說明會(huì)上透露，目前該公司ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目已完成25噸光刻膠生產(chǎn)線建設(shè)，主要先進(jìn)光刻設(shè)備，如ASML浸沒式光刻機(jī)等已經(jīng)完成安裝并投入使用。

2020年底，該公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過下游客戶的使用認(rèn)證，成為通過產(chǎn)品驗(yàn)證的第一只國(guó)內(nèi)ArF光刻膠，各項(xiàng)光學(xué)性能均達(dá)到商用膠的水平，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠的國(guó)內(nèi)供應(yīng)，產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵突破，拿到國(guó)內(nèi)光刻膠的首個(gè)訂單，實(shí)現(xiàn)小批量銷售。目前該公司公司光刻膠產(chǎn)品正在繼續(xù)發(fā)往多個(gè)下游客戶進(jìn)行驗(yàn)證工作，驗(yàn)證進(jìn)展順利。

南大光電業(yè)績(jī)說明會(huì)截圖

南大光電還透露，從目前測(cè)試結(jié)果看，ArF光刻膠性能上和日本產(chǎn)品達(dá)到同等水平，并實(shí)現(xiàn)了ArF光刻膠的本土化，打破了被國(guó)外長(zhǎng)期壟斷的被動(dòng)局面?！坝糜谫|(zhì)量檢測(cè)的光刻機(jī)等量測(cè)設(shè)備是國(guó)外進(jìn)口的，我們已經(jīng)配備了，運(yùn)轉(zhuǎn)良好，沒有被卡的顧慮。主要原材料是自己開發(fā)和生產(chǎn)的，沒有被卡風(fēng)險(xiǎn)。生產(chǎn)設(shè)備是聯(lián)合國(guó)內(nèi)企業(yè)研制的，也不存在被卡風(fēng)險(xiǎn)”。

該公司表示，光刻膠項(xiàng)目今年的主要任務(wù)是完成主要客戶認(rèn)證，明年啟動(dòng)量產(chǎn)，力爭(zhēng)盡早實(shí)現(xiàn)盈利。公告顯示，“ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”是南大光電承接國(guó)家“02專項(xiàng)”的一個(gè)重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目。

南大光電業(yè)績(jī)說明會(huì)截圖

今年1月，晶瑞股份發(fā)布公告，該公司從韓國(guó)進(jìn)口的二手ASML浸沒式光刻機(jī)到貨，可用于研發(fā)高端的ArF光刻膠。該公司當(dāng)時(shí)透露，完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測(cè)試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。

圖片來源：晶瑞股份

另外，根據(jù)申港證券2020年11月研報(bào)，北京科華的KrF光刻膠已經(jīng)通過包括中芯國(guó)際在內(nèi)的部分客戶認(rèn)證，并實(shí)現(xiàn)批量供貨；在G線、i線光刻膠方面，北京科華和晶瑞股份都已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)供貨。

上海新陽(yáng)4月28日發(fā)布的2020年財(cái)報(bào)顯示，該公司集成電路制造用ArF干法、KrF厚膜等中試光刻膠產(chǎn)品已取得優(yōu)異的客戶端測(cè)試結(jié)果，采購(gòu)的用于i線光刻膠研發(fā)的Nikon-i14型光刻機(jī)，用于KrF光刻膠研發(fā)的Nikon-205C型光刻機(jī)，用于ArF干法光刻膠研發(fā)的ASML-1400型光刻機(jī)，用于ArF浸沒式光刻膠研發(fā)的ASML XT 1900 Gi型光刻機(jī)已全部到廠。

需要注意的是，盡管南大光電、晶瑞股份、上海新陽(yáng)等已宣布光刻膠研發(fā)取得重大進(jìn)展，但光刻膠目前仍不是這些公司的營(yíng)收支柱。

2020年，南大光電研發(fā)投入2.3億元，占營(yíng)收比重為38.98%；晶瑞股份研發(fā)投入為0.34億元，占營(yíng)收比重為3.31%；上海新陽(yáng)研發(fā)投入為0.8億元，占營(yíng)收比重為11.57%。

截至發(fā)稿，南大光電、晶瑞股份、上海新陽(yáng)三家公司的市值分別為124億元、84億元和128億元。

芯謀研究王笑龍向觀察者網(wǎng)指出，國(guó)內(nèi)部分號(hào)稱量產(chǎn)光刻膠的企業(yè)，其實(shí)出貨并不多，因?yàn)楣饪棠z生產(chǎn)出來后還要拿去晶圓廠進(jìn)行大量驗(yàn)證，并不是短時(shí)間就能實(shí)現(xiàn)替代，但是國(guó)內(nèi)能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)就代表有了更多選擇。

南大光電2020年財(cái)報(bào)截圖

晶瑞股份2020年財(cái)報(bào)截圖

上海新陽(yáng)2020年財(cái)報(bào)截圖

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