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去年5月，清華大學(xué)召開了“光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)研發(fā)”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)，專家組對項(xiàng)目任務(wù)完成情況予以高度評價(jià)，認(rèn)為該雙工件臺(tái)系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際同類光刻機(jī)雙工件臺(tái)水平，并一致同意該項(xiàng)目通過驗(yàn)收。

光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)

光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)有什么意義呢？工件臺(tái)系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要子系統(tǒng)，工件臺(tái)系統(tǒng)的運(yùn)行速度、加速度、系統(tǒng)穩(wěn)定性和系統(tǒng)的定位建立時(shí)間對光刻機(jī)的生產(chǎn)精度和效率起著至關(guān)重要的作用。過去，光刻機(jī)只有一個(gè)工作臺(tái)，所有流程都在一個(gè)工作臺(tái)上完成。雙工件臺(tái)系統(tǒng)的出現(xiàn)，使得光刻機(jī)能夠在不改變初始速度和加速度的條件下，當(dāng)一個(gè)工作臺(tái)在進(jìn)行曝光工作的同時(shí)，另外一個(gè)工作臺(tái)可以同時(shí)進(jìn)行曝光之前的預(yù)對準(zhǔn)工作，這樣一來，能使光刻機(jī)的生產(chǎn)效率提高大約35%。

在去年年底，由長春光機(jī)所牽頭承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)——“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目順利完成驗(yàn)收前現(xiàn)場測試。在長春光機(jī)所、成都光電所、上海光機(jī)所、中科院微電子所、北京理工大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、華中科技大學(xué)等參研單位耗費(fèi)8年時(shí)間，突破了現(xiàn)階段制約我國極紫外光刻發(fā)展的核心光學(xué)技術(shù)，初步建立了適應(yīng)于極紫外光刻曝光光學(xué)系統(tǒng)研制的加工、檢測、鍍膜和系統(tǒng)集成平臺(tái)，形成了一支具有國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平的研究隊(duì)伍，為開展極紫外光刻曝光光學(xué)系統(tǒng)的工程研制奠定了堅(jiān)實(shí)的人才與技術(shù)基礎(chǔ)。根據(jù)官方披露的消息，計(jì)劃在2030年實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的國產(chǎn)化。

多項(xiàng)舉措有利于提升本土技術(shù)實(shí)力

在今年3月，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司與ASML簽署戰(zhàn)略合作備忘錄。對于這個(gè)事情，有一些網(wǎng)友認(rèn)為，上海微電子要去當(dāng)“偽軍”。但事實(shí)未必如此，在過去幾年，ASML認(rèn)為上海微電子的一些技術(shù)構(gòu)成侵權(quán)，因而一直在打官司。不過知識產(chǎn)權(quán)方面的官司往往比較冗長，比如三星蘋果世紀(jì)大戰(zhàn)，又比如施樂、蘋果、微軟之間的連環(huán)訴訟。加上中國政府也在中間協(xié)調(diào)，最后ASML不勝其煩，索性就以合作的名義，拿一筆錢，就不打官司了。

為了更好的從中國市場獲取利潤也是ASML愿意合作的原因之一。由于中國大力扶持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)中芯國際、華力微等晶圓廠都制定了在幾年后量產(chǎn)14nm芯片的計(jì)劃，加上臺(tái)積電、聯(lián)電、格羅方德先后赴中國大陸投資建廠，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在幾年后會(huì)迎來發(fā)展的井噴期，對高端光刻機(jī)的需求會(huì)大幅增加。而這也是ASML愿意和國內(nèi)單位合作的重要原因——ASML與上海集成電路研發(fā)中心合作共建一個(gè)半導(dǎo)體光刻人才培訓(xùn)中心想必也是出自這個(gè)大背景。

未來，這個(gè)培訓(xùn)中心將擁有多款A(yù)SML的光刻設(shè)備和檢測設(shè)備，也將逐步對國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)內(nèi)的光刻工程師開放。這將大幅提高中國集成電路產(chǎn)業(yè)在高端和專業(yè)技術(shù)人才方面的培養(yǎng)力度。這對國內(nèi)工程師熟悉設(shè)備工藝，提升光刻技能與專業(yè)知識具有積極的促進(jìn)作用。

此外，據(jù)消息人士披露，上海微電子還訂了一批Bumotec機(jī)床。Bumotec是瑞士斯達(dá)拉格旗下的子品牌，能制造世界頂尖的加工光學(xué)儀器的機(jī)床，據(jù)說比ASML用的德國機(jī)床還好點(diǎn)——一般人耳熟能詳?shù)哪切└叨藱C(jī)床，和斯達(dá)拉格不是一個(gè)世界的，斯達(dá)拉格專攻高精尖制造領(lǐng)域的制造設(shè)備，所以知道這個(gè)公司的人非常少。但名氣小不意味著技術(shù)就不頂尖。相信隨著這批機(jī)床的到貨，有助于上海微電子攻克65nm光刻機(jī)的技術(shù)難關(guān)。

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